Wei, Y. Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography. SPIE Digital Library.
Citazione stile Chigago Style (17a edizione)Wei, Yayi. Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography. SPIE Digital Library.
Citatione MLA (8a ed.)Wei, Yayi. Advanced Processes for 193-nm Immersion Lithography. SPIE Digital Library.
Attenzione: Queste citazioni potrebbero non essere precise al 100%.