Schenk, H. MOEMS and Miniaturized Systems IX. SPIE Digital Library.
Chicago-Zitierstil (17. Ausg.)Schenk, Harald. MOEMS and Miniaturized Systems IX. SPIE Digital Library.
MLA-Zitierstil (8. Ausg.)Schenk, Harald. MOEMS and Miniaturized Systems IX. SPIE Digital Library.
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