Lin, B. J. (2010). Optical Lithography: Here Is Why. SPIE. https://doi.org/10.1117/3.821000
Trích dẫn kiểu Chicago (xuất bản lần thứ 7)Lin, Burn J. Optical Lithography: Here Is Why. SPIE, 2010. https://doi.org/10.1117/3.821000.
Trích dẫn kiểu MLA (xuất bản lần thứ 8)Lin, Burn J. Optical Lithography: Here Is Why. SPIE, 2010. https://doi.org/10.1117/3.821000.
Cảnh báo: Các trích dẫn này có thể không phải lúc nào cũng chính xác 100%.