Micromachining of Elements with Optical and Other Submicrometer Dimensional and Surface Specifications

Xehetasun bibliografikoak
Beste egile batzuk: Weck, Manfred
Formatua: Baliabide elektronikoa Liburua
Hizkuntza:English
Argitaratua: SPIE Digital Library, 1/11/87
Gaiak:
Sarrera elektronikoa:Full text available on Research4Life (SPIE Digital Library)
Classic Catalogue: View this record in Classic Catalogue

Antzeko izenburuak