Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures Processing, Measurement, and Phenomena

Detalhes bibliográficos
Formato: Recurso Electrónico Periódico
Idioma:English
Publicado em: AVS: Science & Technology of Materials, Interfaces, and Processing
Assuntos:
Acesso em linha:Full text available on AIP
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